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                          应用讯息

                          上海伯东美国 KRI 霍尔离子源 EH 1000 安装于磁控溅射设备对聚氨酯类的材料进行清洗前处理.
                          在进行镀膜等工艺前, 对原样品的表面平整度, 洁净程度等参数会有不同的要求. 对于不达标的样品需要进行前处理, KRI 霍尔离子源可以很好的解决这类的问题.

                          KRI 离子源清洗在真空室中进行, 基板表面清洁后可以立即沉积, 短停留时间暴露于真空背景清洁并活化基材表面比辉光放电更清洁, 生产率更高; 无需基板偏置, 无需高压, 消除了大多数腔室壁的溅射, 没有额外的抽空, 很好地提高了整体工艺的效率与质量.
                          KRI 霍尔离子源清洗样品示意图:
                          KRI 霍尔离子源

                          上海伯东 KRI 霍尔离子源可以在低功耗的情况下进行大电流的工作, 很好的处理样品的清洁度和平整度.可以根据不同的工艺要求来控制样品表面的光滑 / 粗糙程度. 一致且可靠地去除表面污染物, 以暴露原始基材, 达到清洗前处理的作用, 稳定工艺并提高产品产量.

                          型号

                          eH400

                          eH1000

                          eH2000

                          eH3000

                          eH Linear

                          中和器

                          F or HC

                          F or HC

                          F or HC

                          F or HC

                          F

                          阳极电压

                          50-300 V

                          50-300 V

                          50-300 V

                          50-250 V

                          50-300 V

                          离子束流

                          5A

                          10A

                          10A

                          20A

                          根据实际应用

                          散射角度

                          >45

                          >45

                          >45

                          >45

                          >45

                          气体流量

                          2-25 sccm

                          2-50 sccm

                          2-75 sccm

                          5-100 sccm

                          根据实际应用

                          本体高度

                          3.0“

                          4.0“

                          4.0“

                          6.0“

                          根据实际应用

                          直径

                          3.7“

                          5.7“

                          5.7“

                          9.7“

                          根据实际应用

                          水冷

                          可选

                          可选

                          可选

                          根据实际应用


                          若您需要进一步的了解离子源或讨论, 请参考以下联络方式:
                          上海伯东:叶小姐                                   台湾伯东:王小姐
                          T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161
                          F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
                          M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958
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