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                          应用讯息

                          上海伯东 KRI 射频离子源应用于 12英寸和8英寸金属蚀刻机中
                          上海伯东代理美国考夫曼 KRI 大口径射频离子源 RFICP 220, RFICP 380 成功应用于 12英寸和 8英寸磁存储器刻蚀机, 8英寸量产型金属刻蚀机中, 实现 8英寸 IC 制造中的 Al, W 刻蚀工艺, 适用于 IC, 微电子,光电子, MEMS 等领域.

                          作为蚀刻机的核心部件, KRI 射频离子源提供高能量, 低浓度的离子束, 单次工艺时间更长, 满足各种材料刻蚀需求! 实现刻蚀过渡金属及非挥发性金属的需求, 可处理晶圆尺寸最大 300 mm, 适用于磁性存储器 MRAM 及磁传感器的研发及生产.
                          离子源安装于金属蚀刻机
                          KRI 射频离子源 RFICP 220, RFICP 380 技术参数:

                          型号

                          RFICP 220

                          RFICP 380

                          Discharge 阳极

                          RF 射频

                          RF 射频

                          离子束流

                          >800 mA

                          >1500 mA

                          离子动能

                          100-1200 V

                          100-1200 V

                          栅极直径

                          20 cm Φ

                          38 cm Φ
                          最大口径射频离子源

                          离子束

                          聚焦, 平行, 散射

                          流量

                          10-40 sccm

                          5-50 sccm

                          通气

                          Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

                          典型压力

                          < 0.5m Torr

                          < 0.5m Torr

                          长度

                          30 cm

                          39 cm

                          直径

                          41 cm

                          59 cm

                          中和器

                          LFN 2000


                          1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

                          鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解离子源或讨论, 请参考以下联络方式:
                          上海伯东:叶小姐                                   台湾伯东:王小姐
                          T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161
                          F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
                          M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958
                          qq:2821409400 
                          现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267
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