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                          线性霍尔离子源 eH Linear
                          阅读数: 8770

                          线性霍尔离子源 eH Linear

                          KRI 线性霍尔离子源 eH Linear
                          上海伯东代理美国原装进口 KRI  线性离子源使用 eH 400 做为模组, 能应用于宽范围的衬底, 离子源长度高达 1 米, 通过严格调整模组间的距离可以实现最佳的均匀性和离子流. 由于模组是平行放置, 大大简化了气体, 功率和电子三者的分布. KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化, 一个低成本, 高电流和低能量的离子束可以很好的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.

                          霍尔离子源 eH 400 尺寸
                          尺寸: 直径= 3.7“ 高= 3”
                          放电电压 / 电流: 50-300eV / 5A
                          操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

                          KRI 霍尔离子源 eH Linear 技术参数

                          型号

                          eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5

                          供电

                          DC magnetic confinement

                            - 电压

                          40-200V VDC

                            - 阳极结构

                          ??榛?/p>

                          电源控制

                          eHL-30010A

                          配置

                          -

                            - 阴极中和器

                          Filamentless

                            - 离子束发散角度

                          > 45° (hwhm)

                            - 阳极

                          标准或 Grooved

                            - 底座

                          移动或快接法兰

                            - 高度

                          10 cm

                          宽度

                          10 cm

                            - 长度

                          ~ 100cm

                            -工艺气体

                          Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others

                           

                          Model

                          eHL 200-3

                          eHL 200-5

                          Height (nominal)

                          2.9” (7.4cm)

                          2.9” (7.4cm)

                          Width (nominal)

                          3.3” (8.4cm)

                          3.3” (8.4cm)

                          Length (nominal)

                          Determined by number of modules & application

                          Determined by number of modules & application

                          Cathode/Neutralizer

                          Yes

                          Yes

                          Anode module

                          Yes

                          Yes

                          Filamentless

                          Yes

                          Yes

                          Orientation

                          Vertical / Horizontal

                          Vertical / Horizontal

                          Process gases

                          Inert, reactive, & organic

                          Inert, reactive, & organic

                          Power controller

                          eH Plasma Power Pack

                          eH Plasma Power Pack

                           

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