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                          射频离子源 RFICP 140
                          阅读数: 8121

                          射频离子源 RFICP 140

                          KRI 射频离子源 RFICP 140
                          上海伯东代理美国原装进口 KRI 射频离子源 RFICP 140 是一款紧凑的有栅极离子源, 非常适用于离子束溅射沉积, 离子辅助沉积和离子束刻蚀. 在离子束溅射工艺中,射频离子源 RFICP 140 配有离子光学元件, 可以很好的控制离子束去溅射靶材, 实现完美的薄膜特性. 同样的在离子束辅助沉积和离子束刻蚀工艺中, 最佳的离子光学元件能够完成发散和聚集离子束的任务. 就标准的型号而言, 可以在离子能量为 100~1000 eV 范围内获得很高的离子密度. 可以输出最大 600 mA 离子流

                          KRI 射频离子源 RFICP 140 技术参数:

                          型号

                          RFICP 140

                          Discharge 阳极

                          RF 射频

                          离子束流

                          最大 600 mA

                          离子动能

                          100-1200 V

                          栅极直径

                          14 cm Φ

                          离子束

                          聚焦, 平行, 散射

                          流量

                          5-30 sccm

                          通气

                          Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

                          典型压力

                          < 0.5m Torr

                          长度

                          24.6 cm

                          直径

                          24.6 cm

                          中和器

                          LFN 2000

                          KRI 射频离子源 RFICP 140 应用领域:
                          预清洗
                          表面改性
                          辅助镀膜(光学镀膜)IBAD,
                          溅镀和蒸发镀膜 PC
                          离子溅射沉积和多层结构 IBSD
                          离子蚀刻 IBE

                          1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

                          若您需要进一步的了解 KRI 射频离子源, 请参考以下联络方式
                          上海伯东: 叶小姐                                  台湾伯东: 王小姐
                          T: +86-21-5046-3511 ext 109             T: +886-3-567-9508 ext 161
                          F: +86-21-5046-1490                          F: +886-3-567-0049
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