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                          干式真空泵 A4X 系列
                          阅读数: 8061

                          干式真空泵 A4X 系列

                          干式真空泵 A4X 系列
                          上海伯东德国 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列适合半导体、光伏等腐蚀性强的行业,干式真空泵抽速从 160 到 1,700 m3/h 满足不同需求,特殊的耐腐蚀工艺设计保证干式真空泵 A4X 系列使用寿命大幅提高,有效降低了企业成本。

                          干式真空泵 A4X 系列核心优势:
                          耐腐蚀设计,使用寿命长
                          通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
                          特殊设计,避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
                          配置氮气吹扫阀,耐粉尘

                          干式真空泵 A4X 系列应用
                          半导体:(蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
                          涂料行业:光伏和 LED

                          干式真空泵 A4X 系列技术参数:

                          型号

                          A 124 H

                          A 604 H

                          A 1204 H

                          A 204 H
                          A 204 X

                          A 804 H
                          A 804 X

                          A 1504 H
                          A 1504 X

                          A 1804 H
                          A 1804 X

                          抽速 m3/h

                          110

                          560

                          1150

                          160

                          700

                          1200

                          1700

                          极限真空
                          (氮气吹扫阀关闭) hPa

                          2X10-2

                          2X10-4

                          9X10-4

                          5X10-2

                          2X10-3

                          2X10-3

                          2X10-3

                          极限真空
                          (氮气吹扫阀50 SLM) hPa

                          5X10-2

                          6X10-3

                          6X10-3

                          2X10-1

                          9X10-3

                          9X10-3

                          9X10-3

                          全转速最大进气气流 SLM

                          80

                          60

                          55

                          150

                          100

                          100

                          70

                          最大功率 KW

                          1.5

                          1.9

                          2.3

                          1.8

                          2.2

                          2.6

                          2.6

                          最大排气压力hPa

                          1200

                          1200

                          1200

                          1200

                          1200

                          1200

                          1200

                          进气口 ISO-KF

                          DN 50

                          DN 100

                          DN 160

                          DN 50

                          DN 100

                          DN 160

                          DN 160

                          重量 kg

                          250

                          370

                          530

                          260

                          380

                          540

                          540

                           

                          干式真空泵 A4X 系列抽速:
                          上海伯东干式真空泵 Adixen

                          上海伯东 Adixen 干式真空泵


                           

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