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                          Temptronic ThermoChuck
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                          Temptronic ThermoChuck

                          Temptronic ThermoChuck
                          上海伯东美国 inTEST 旗下 Temptronic ThermoChuck 系统利用导电加热和冷却系统,搭配晶圆探针台共同使用,提供 -65 至 +300°C 高低温环境,适用晶圆 150 mm、200 mm、300 mm ,可用于激光微调 Laser Trim 和晶圆老化 Burn-in 测试,例如低泄漏探测(fA)和高电压探测(10 kv),适用于晶圆、芯片在电高低温环境下的特性描述、失效分析等。Temptronic ThermoChuck 适合各种厂牌晶圆探针台,为确保兼容性,具体选型还请拨打客服热线:021-50463511

                          一、晶圆尺寸:150 和 200 mm

                          ThermoChuck 型号

                          温度范围°C

                          冷却

                          加热

                          TP03000A

                          -65 to +200°C

                          Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling

                          热电

                          TP03010A

                          +20 to +200°C

                          风冷/水冷*

                          热电

                          TP03010B

                          0 to +200°C

                          Closed loop glycol/water cooling

                          热电

                          TP03015A

                          +30 to +200°C (+300ºC optional)

                          风冷/水冷*

                          电阻

                          TP03015B

                          +30 to +200°C (+300°C optional)

                          Closed loop glycol/水冷

                          电阻

                          电压 115V或 220V
                          * 用户提供冷却介质

                          二、晶圆尺寸:300 mm

                          ThermoChuck 型号

                          温度范围°C

                          冷却

                          加热

                          TP03500A

                          -55 to +200

                          Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling

                          电阻

                          TP03500D

                          +20 to +200

                          Open loop air cooling with Vortex*

                          电阻

                          TP03500E

                          +30 to +200

                          Open loop air cooling*

                          电阻

                          电压 220V
                          * 用户提供冷却介质

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