"

              ✅彩票全天计划网站✅品牌实力,资金雄厚,彩票全天计划网站,诚信为本,原生态App体验千百款游戏,彩票全天计划网站,7x24服务,欢迎您来体验!

                          "

                          镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220
                          阅读数: 6117

                          镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

                          镀膜工艺气体分析仪 SPM 220
                          上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了完美的解决方案. 搭配 HiPace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hPa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析. Pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.

                          镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 优势
                          用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源
                          用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的优秀检测限
                          对测量结果的最小化背景影响
                          提供压力高达 10 hPa 的压差型号
                          多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
                          灵活集成的紧凑尺寸
                          通过各种数字和模拟输入和输出, 使系统集成方便而灵活

                          镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 应用
                          半导体生产,玻璃镀膜, 薄膜太阳能电池发电,研发

                          镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 组成:涡轮分子泵+四级杆质谱+离子源
                          Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

                          镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 优势:
                          镀膜工艺监测器离子源,适用于瞬时过程监测
                          对气体H2、O2、H2O 和 CO2 优秀检测极限
                          对测量结果的最小化背景影响
                          压力高达 10 hPa 的压差版本
                          多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
                          紧凑设计,易于系统集成
                          通过各种数字和模拟输入和输出
                          Pfeiffer监测质谱 SPM 220 技术参数:

                          SPM 系统控制

                          BRU 220

                          电压

                          115-230 V

                          前级泵

                          MVP 020-3

                          四极控制

                          QME 220

                          带 SPM 离子源的分析仪

                          QMA 220

                          探测器

                          C-SEM/Faraday

                          杆系统:材料

                          不锈钢

                          杆系统:直径

                          6 mm 

                          杆系统:长度

                          100 mm 

                          检测极限(氩中):二氧化碳

                          < 100 ppb

                          检测极限(氩中):氧气

                          < 100 ppb

                          检测极限(氩中):氮

                          < 100 ppb

                          检测极限(氩中):水

                          < 3000 ppb

                          检测极限(氩中):水蒸气

                          < 500 ppb or < 6000 ppb

                          涡轮分子泵

                          带有 TC 110 RS 的 HiPace 80

                          质量数

                           

                          1-100 amu or 1-200 amu

                          过程压力至

                          1 hPa or 10 hPa or 8hPa

                          连接法兰(入口)

                          DN 40 CF-F

                          重量

                          13 kg 

                           

                          若您需要进一步的了解详细信息或讨论,请参考以下联络方式:
                          上海伯东:叶女士                         台湾伯东:王女士
                          T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
                          F: +86-21-5046-1490                    F: +886-03-567-0049
                          M: +86 1391-883-7267                 M: +886-939-653-958
                          qq: 2821409400

                          其他产品
                          彩票全天计划网站