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                          Thermonics 超低温冰水机
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                          Thermonics 超低温冰水机

                          Thermonics 超低温冰水机
                          上海伯东美国 inTEST 旗下 Thermonics® 超低温冰水机, 可以匹配各种热交换液体媒介, 提供低温极限 -80°C, -60°C, -40°C 共计 18种标准机型, 低温冰水机单级压缩机, 级联冷却, 冷凝器水冷或风冷; 可编程的触摸屏, 支持远程通讯. 低温冰水机方便移动操作, 满足高容量的制冷需求, 适用于汽车, 能源, 工业化学, 半导体等行业.

                          Thermonics 超低温冰水机: 精密温度控制, 适用于半导体前端和后端的应用, 例如半导体刻蚀设备降温
                          . 最高冷却功率 15 kW
                          . 温度范围:  -80 至 200 °C
                          . 适合各种热交换流体
                          . 风冷和水冷模式
                          . 导热流体压力和流量控制
                          . ISO 9001 和 ITAR 认证
                          . 可编程的触摸屏
                          低温工艺流体冰水机
                          Thermonics 超低温冰水机, 风冷型

                          型号

                          温度范围
                          °C

                          精度
                          °C

                          冷却能力 kW @ 20°C 供水

                          泵抽速
                          l/min

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                          -20

                          -40

                          -45

                          -60

                          -70

                          -80

                          A-40-1100

                          -40 至 +50

                          ±0.5

                          6.6

                          6.6

                          4.0

                          1.1

                          0.5

                          -

                          -

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                          A-40-1900

                          -40 至 +50

                          ±0.5

                          9.5

                          9.5

                          5.4

                          1.9

                          0.7

                          -

                          -

                          -

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                          A-40-2700

                          -40 至 +50

                          ±0.5

                          14.5

                          14.5

                          9.6

                          2.7

                          1.2

                          -

                          -

                          -

                          38

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                          A-60-2700

                          -60 至 +50

                          ±0.5

                          3.9

                          3.9

                          3.6

                          3.1

                          3.0

                          2.7

                          -

                          -

                          11

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                          A-60-3000

                          -60 至 +50

                          ±0.5

                          4.6

                          4.6

                          3.7

                          3.5

                          3.4

                          3.0

                          -

                          -

                          23

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                          A-60-4600

                          -60 至 +50

                          ±0.5

                          6.7

                          6.7

                          6.1

                          5.3

                          5.1

                          4.6

                          -

                          -

                          30

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                          A-80-500

                          -80 至 +50

                          ±0.5

                          2.3

                          2.3

                          2.2

                          2.1

                          2.0

                          1.8

                          1.5

                          0.5

                          11

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                          A-80-1700

                          -80 至 +50

                          ±0.5

                          3.4

                          3.5

                          3.1

                          2.8

                          2.7

                          2.3

                          2.1

                          1.7

                          23

                          下载 PDF

                          A-80-2400

                          -80 至 +50

                          ±0.5

                          5.0

                          5.1

                          4.5

                          3.9

                          3.8

                          3.3

                          3.1

                          2.4

                          30

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                          Thermonics 超低温冰水机, 水冷型

                          型号

                          温度范围
                          °C

                          精度
                          °C

                          冷却能力 kW @ 20°C 供水

                          泵抽速
                          l/min

                          资料下载

                          25

                          0

                          -20

                          -40

                          -45

                          -60

                          -70

                          -80

                          W-40-1100

                          -40 至 +50

                          ±0.5

                          8.0

                          8.0

                          4.6

                          1.1

                          0.6

                          -

                          -

                          -

                          15

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                          W-40-2000

                          -40 至 +50

                          ±0.5

                          10.0

                          10.0

                          6.0

                          2.0

                          1.0

                          -

                          -

                          -

                          23

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                          W-40-3100

                          -40 至 +50

                          ±0.5

                          15.5

                          15.5

                          10.0

                          3.1

                          1.4

                          -

                          -

                          -

                          38

                          下载 PDF

                          W-60-2800

                          -60 至 +50

                          ±0.5

                          4.0

                          4.0

                          3.7

                          3.2

                          3.1

                          2.8

                          -

                          -

                          11

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                          W-60-3100

                          -60 至 +50

                          ±0.5

                          4.7

                          4.7

                          4.3

                          3.7

                          3.6

                          3.1

                          1.1

                          -

                          23

                          下载 PDF

                          W-60-4700

                          -60 至 +50

                          ±0.5

                          6.8

                          6.8

                          6.2

                          5.4

                          5.2

                          4.7

                          4.0

                          -

                          30

                          下载 PDF

                          W-80-600

                          -80 至 +50

                          ±0.5

                          2.5

                          2.5

                          2.3

                          2.1

                          2.0

                          1.8

                          1.6

                          0.6

                          11

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                          W-80-1800

                          -80 至 +50

                          ±0.5

                          3.5

                          3.5

                          3.2

                          2.9

                          2.8

                          2.4

                          2.2

                          1.8

                          23

                          下载 PDF

                          W-80-2500

                          -80 至 +50

                          ±0.5

                          5.1

                          5.1

                          4.5

                          4.0

                          3.9

                          3.4

                          3.2

                          2.5

                          30

                          下载 PDF

                          * 所有水冷和风冷型号液体压力是 50 PSIG 或更少
                          * -40 和-60°C 的低温性能使用 Syltherm XLT 热传导液. -80°C 的性能使用 hfe - 7100 热传导液
                          * 如果需要使用其他类型热传导液或流速, 请联络上海伯东

                          Thermonics 超低温冰水机典型应用
                          1. 半导体行业: 在离子注入机中冷却硅片夹
                          2. 燃料电池能源: 低温冷却进入储罐的废气, 从废气中冷凝和分离二氧化碳
                          3. 科研领域: 在一个压力容器中, 加热和冷却铜块

                          Thermonics® 制冷机主要应用于能源, 化学工艺, 工业和半导体制造, 例如如下:

                          制冷机类型

                          冷却方式

                          Max.Capacity

                          温度范围

                          导热介质

                          应用市场

                          传导液制冷
                          双极

                          水冷

                          5kW @ -20°C

                          -40 至 25°C    

                          Syltherm XLT

                          化学

                          传导液制冷
                          单极

                          水冷

                          2.5kW @ -60°C

                          -60 至 25°C

                          Syltherm XLT

                          化学

                          传导液制冷
                          单极

                          风冷

                          270W @ -50°C

                          -50 至 120°C

                          HFE-7500   

                          半导体

                          传导液制冷
                          双极

                          风冷

                          300W @ -80°C

                          -80 至 200°C

                          Syltherm XLT

                          国防

                          传导液制冷
                          双极

                          风冷

                          3KW @ -60°C

                          -60 至 20°C

                          KRYO 60 

                          能源

                          气体制冷
                          自然复叠

                          风冷

                          -100 °C @ 8 scfm

                          -100 °C至空气

                          清洁,干燥空气

                          工业

                          传导液制冷
                          双极

                          水冷

                          2.2KW @ 20°C

                          -50 至 40 °C

                          HFE-7500

                          半导体

                          传导液制冷
                          单极

                          水冷

                          12KW @ 15°C

                          -15 至 20 °C

                          PGW (25%)

                          半导体

                          气体制冷
                          自然复叠

                          风冷

                          -90°C @ 18scfm

                          -90 至 225 °C

                          清洁,干燥空气

                          汽车

                          传导液制冷
                          单极

                          风冷

                          1.5 KW @ -30 °C

                          -40 至 50 °C

                          Syltherm XLT

                          工业

                          传导液制冷
                          双极

                          水冷

                          3.3KW @ -50°C

                          -50 至 20 °C

                          Syltherm HF

                          汽车


                          Thermonics 低温冰水机原理:
                          冰水机 chiller
                           

                          Thermonics 超低温冰水机在半导体行业中的应用
                          前端 Front End
                          离子注入 Ion Implant
                          蚀刻设备 Etch: 降温晶圆,
                          沉积设备 Deposition
                          后端 Back End
                          各种测试处理 Final Test Handlers:
                          举例: Thermonics 冰水机将制冷液体泵入测试设备进行半导体器件的冷态测试, Thermonics 冰水机可与各类半导体测试设备联用.

                          美国 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低温冰水机和 -120°C 超低温冰水机用于冷却工艺过程中的气体和液体. 型号包含低温液体冰水机, 超低温气体冰水机超低温液氮, 液态二氧化碳制冷机. Thermonics 低温冰水机可选水冷或气冷, 并与各种导热液体兼容. 满足各种超低温工艺冷却需求, 广泛应用于化学, 能源, 半导体, 汽车等领域. 上海伯东是美国 Thermonics 超低温冰水机中国总代理. 

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