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                          电子束蒸发镀膜机 E-Beam
                          阅读数: 3036

                          电子束蒸发镀膜机 E-Beam

                          电子束蒸发镀膜 E-Beam
                          上海伯东代理 E-Beam 电子束蒸发镀膜机 ( 电子蒸镀 ), 最大真空度可达 5E-10 torr, 提供客制化服务.

                          电子束蒸发镀膜机

                           推荐设备型号: EBS-150
                           标准的设计, 左边 load lock 腔体, 包含氧化和蚀刻过程; 
                           右边沉积腔内含一个电子束, 适用于约瑟夫森结,
                           特性:
                           真空度 5E-8 torr
                           最大 8inch 样品
                           基本可倾斜 / 旋转
                           可选 IBAD
                           全自动
                           腔室水冷

                           

                           型号 EBS-150 UHV
                           特性:

                           真空度 5E-10 torr
                           最大 6inch 样品
                           基本可倾斜 / 旋转
                           可选 IBAD
                           全自动
                           腔室水冷

                           

                          电子束蒸发

                           型号 EBS-300 Dual
                           特性:

                           真空度 5E-7 torr
                           行星机械手
                           双 E-gun
                           全自动加工
                           软件控制


                          E-Beam 电子束蒸发适用于
                          Lift-off 工艺
                          HMET, PHMET 晶体管
                          Ohmic and Schottky contacts on GaN 氮化镓基片欧姆和肖特基接触
                          IR waveguides 红外波导
                          Thermal barriers 热障
                          Magnetic materials for microwave applications 磁性材料微波应用
                          MEMS 封装
                          超导隧道结


                          上海伯东代理电子束蒸镀设备,专精于金属及氧化物薄膜的制备, 可用于超导量子实验室制备超导结 ( 量子比特和约瑟夫森结 ) 和量子器件, 可以制备大面积, 高稳定性和可重复性超导结. 电子束蒸发设备提供客制化服务, 满足各类不同真空系统整合需求!

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