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                          HVA 真空插板阀应用于半导体管道中
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                          HVA 真空插板阀应用于半导体管道中

                          美国 HVA 真空插板阀在半导体管道中的应用
                          半导体后端工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体, 气体管路系统 ( 真空管路 ) 的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内. 上海伯东美国 HVA 插板阀广泛用于高真空或超高真空的气体输送环节, 用来改变气流方向, 调节气流量大小, 切断或接通管路, 起到真空隔离密封等作用. 美国 HVA 6寸, 8寸 真空插板阀已广泛应用于半导体气体管路中! 上海伯东是美国 HVA 插板阀在中国地区唯一指定总代理商.

                                                           半导体管道插板阀应用示意图                                                                       现场图

                          真空插板阀
                          上海伯东美国 HVA 插板阀优势
                          1. 满足高真空(1E10-9  mabr)和超高真空(1E10-10 mbar)应用
                          2. HVA 插板阀口径 DN 16 至 800 mm
                          3. 坚固耐用, 超长使用寿命, 可达 1,000,000 启动次数
                          4. 清洁和高密封性保证 HVA 插板阀与前级泵, 涡轮分子泵等完美联用
                          5. 双向密封,最小漏率 < 2x10-9  mbar l/S
                          6. 可选择驱动方式多, 手, 气,电动可选
                          7. 有效保护分子泵. 气动和电动插板阀均带信号反馈装置, 与分子泵和腔体连用时可以起到截断一些特殊气体, 保护分子泵的作用
                          8. 标准或定制法兰满足不同应用
                          9. 国际标准, 插板阀整机美国设计, 制造, 组装, 原装进口

                          美国 HVA 超过 40年的阀门研发生产经验, 与友厂对比, HVA 插板阀阀体和部件均是在真空炉中一体钎焊完成, 消除了虚漏的可能.

                          若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式
                          上海伯东: 叶女士                               台湾伯东: 王女士
                          T: +86-21-5046-3511 ext 109          T: +886-03-567-9508 ext 161
                          F: +86-21-5046-1490                       F: +886-03-567-0049
                          M: +86 1391-883-7267                    M: +886-939-653-958
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