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                          氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏
                          阅读数: 1414

                          氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏

                          Pfeiffer 氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏
                          脉冲激光沉积系统 PLD
                          脉冲激光沉积系统 Pulsed laser deposition 是制备高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多层异质结构和超晶格结构的物理气相沉积设备, 通常需要保证本底真空度达到 10-8mbar, 同时高真空环境对系统配置的 RHEED 及温控系统等关键设备的寿命也至关重要.

                          脉冲激光沉积系统 PLD 需要检漏原因
                          PLD 系统需要高真空环境, 腔室是否有泄露, 是否有内部材料放气等因素对实现高真空及超高真空很关键. 因此需要对整个系统进行泄漏检测. 氦质谱检漏仪利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 因此广泛应用于 PLD 设备检漏.

                          脉冲激光沉积系统 PLD 检漏客户案例: 上海伯东某客户 PLD 设备用来制备各种材料, 为了保证产品质量, 采购氦质谱检漏仪 ASM 340 搭配使用.

                          生长多层膜(TiN/ALN)结构, 各层膜厚度可调

                          高通量制备具有不同材料成分的100种材料

                          PLD 制备的 Ag 的纳米多孔材料

                          氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏

                          氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏

                          氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏


                          脉冲激光沉积系统 PLD 检漏方法
                          采用真空模式检漏, 通过波纹管连接需要检漏的腔体, 设定好需要的漏率值
                          在怀疑有漏的地方喷氦气(一般需要检漏的部位是焊缝或连接处),如果有漏,检漏仪会出现声光报警同时在屏幕上显示当前漏率值.
                          氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏
                          上海伯东推荐 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 三种类型可选

                          型号

                          ASM 340 WET

                          ASM 340 D

                          ASM 340 I

                          对氦气的最小检测漏率, 真空模式

                          5E-13 Pa m3/s

                          5E-13 Pa m3/s

                          5E-13 Pa m3/s

                          检测模式

                          真空模式和吸枪模式

                          真空模式和吸枪模式

                          真空模式和吸枪模式

                          检测气体

                          4He, 3He, H2

                          4He, 3He, H2

                          4He, 3He, H2

                          对氦气的抽气速度 l/s

                          2.5

                          2.5

                          2.5

                          进气口最大压力 hPa

                          25

                          25

                          5

                          前级泵抽速 m3/h

                          油泵 15

                          隔膜泵 3.4

                          不含前级泵

                          重量 kg

                          56

                          45

                          32

                          结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>

                          鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式
                          上海伯东: 叶小姐                                  台湾伯东: 王小姐
                          T: +86-21-5046-3511 ext 109             T: +886-3-567-9508 ext 161
                          F: +86-21-5046-1490                          F: +886-3-567-0049
                          M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958
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