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                          氦质谱检漏仪光刻机检漏
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                          氦质谱检漏仪光刻机检漏

                          氦质谱检漏仪光刻机检漏
                          上海伯东客户日本某生产半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求, 为了方便进行快速检漏, 采购伯东 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310.

                          光刻机检漏方法: 采用真空模式检漏, 漏率值设定为 1x10-11pa m3/s.
                          1. 通过波纹管与光刻机真空系统连接
                          2. 使用喷枪, 喷扫管路, 腔体焊缝, 接头等部位, 如果存在超过设定漏率值的狭缝, 检漏仪会时时发出声光报警, 同时在屏幕上显示漏率值.
                          氦质谱检漏仪光刻机检漏
                          便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 主要技术参数:

                          对氦气的最小检测漏率

                          真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸枪模式 1E-8 Pa m3/s

                          检测模式

                          真空模式和吸枪模式
                          检漏方法>>

                          氦质谱检漏仪无油前级泵抽速

                          1.7 m3/h

                          检测气体

                          4He , 3He, H2

                          响应时间

                          <1s

                          对氦气的抽气速度

                          1.1 l/s

                          氦质谱检漏仪进气法兰

                          DN 25 ISO-KF

                          进气口最大压力

                          15 hPa

                          通讯接口

                          RS-232

                          工作温度

                          10-40 °C

                          噪音水平

                          < 45 dB (A)

                          尺寸

                          350 X 245 X 141 mm

                          重量

                          21 kg (46 lb)

                          鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解光刻机检漏, 请参考以下联络方式
                          上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐
                          T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161
                          F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
                          M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958
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